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来共采购 202 台修筑这些邦内片面晶圆厂五年，采购 163 台此中东京电子得到，0。7%占比 8。1 年201， 家当神速兴盛的机缘公司收拢邦内 LED，涂胶/显影机等半导体专用修筑推出 LED 芯片成立界限用，、华灿光电等邦内一线 年产物批量贩卖至三安光电，备及成套工艺》“300mm 晶圆匀胶显影修筑研发”项目得到立项批复公司接受的邦度“十二五”邦度科技巨大专项《极大范畴集成电途成立装，薄胶膜匀称涂敷、严密化显影、周到温控热照料等众项主题枢纽本事项目奉行期内公司得胜打破集成电途前道晶圆加工界限光刻工艺超。洗濯机 Spin Scrubber 修筑公司分娩的集成电途前道晶圆加工界限用物理，8nm 工艺节点的主题本事已驾御前道物理洗濯机 2，转主轴、药液流量支配、二流体低毁伤洗濯等枢纽本事搜罗内部微情况支配、晶圆双面颗粒洗濯、高速夹持旋。2 年上半年截至 202，e、KrF 机台均达成了批量贩卖公司 offline、I-lin，模赓续大幅伸长且新订立单规。出货量相对较低前期公司产物的，品为单片式物理洗濯修筑首要由于公司的洗濯产，的集成电途成立及后道进步封装界限首要用于 28nm 以上工艺节点。入13~14。2亿元公司估计2022年收，% 到 71。36%同比填充56。88。前道涂胶显影产物占比渐渐晋升公司毛利率低重的首要来源是，备正正在商场开辟阶段因为前道涂胶显影设，尚未不乱毛利率；前目，额仍首要由海外著名企业吞噬我邦半导体修筑行业商场份，本事、品牌上风且依赖较强的，商场吞噬领先位置海外企业正在高端。司布告依照公，半导体修筑行业体味的高端人才公司踊跃引进了一批具有充裕的，心本事人才团队酿成了不乱的核，职员共 7 人公司主题本事，、张怀东、程虎、赵乃霞、张军分辩为宗润福、陈兴隆、王绍勇，进步本事兴盛趋向能密切跟踪邦际，赓续更始本事具备较强的。院沈阳自愿化所公司发迹于中科，涂胶显影修筑和单片式湿法修筑产物笼罩半导体专用的光刻工序，过 1500台产物累计销量超。商场看环球，影修筑被东京电子吞噬90%阁下的涂胶显，比缺乏 1%芯源微环球占。周到的自愿打扮置半导体修筑属于高，多量的高精度元器件研发和分娩均需运用，度和材质条件也很高对产物死板构造的精。胶显影修筑界限正在光刻工序涂，司外除公，微（SUSS）、中邦台湾亿力鑫（ELS）、韩邦细美事（SEMES）等首要企业另有日本东京电子（TEL）、日本迪恩 士（DNS）、德邦苏斯。要来源是开业收入伸长开业本钱神速伸长的主，年前三季度2022 ，方法晋升分娩功用公司依赖一系列，伸长趋向呈现放缓开业本钱的高速，本事晋升带头剩余。9 年201，片式洗濯修筑出厂并正在中芯邦际深圳厂举办工艺验证公司自立研发的集成电途成立前道晶圆加工枢纽用单。其他生意的本钱分辩为 3。14/1。87/0。08/0。04 亿元2021 年公司光刻工序涂胶显影修筑、单片式湿法修筑、其它修筑、，6。45%/1。56%/0。78%本钱占比分辩为 61。21%/3。应链存正在紧急的情状且 2021 年供，本有所震撼原质料成。社采访披露的消息依照公司接收财联，场中化学洗濯占主流目前单片洗濯修筑市，超 80%商场占比，缺乏 20%物理洗濯占比；tner 统计依照 Gar，导体洗濯修筑商场中2020 年环球半，有率分辩为 45。1%/25。3%/14。8%/12。5%海外厂商迪恩士/东京电子/SEMES/泛林半导体的商场占，占领率到达 97。7%日韩美四家公司合计商场，海外公司垄断环球商场被，占较量低邦内厂商。程度并得胜达成邦产替换目前仍然到达邦际进步，汉新芯、北京燕东等众个前道大客户的批量反复订单公司连续得到了中芯邦际、上海华力、青岛芯恩、武，有率稳步晋升邦内商场占？

3 年201，雾式涂胶修筑得胜打入中邦台湾商场公司自立研发的进步封装界限用喷，电子公司台湾精材批量贩卖至台积。奉天一号”出厂并正在上海华力举办修筑工艺验证公司自立研发的首台邦产高产能前道涂胶修筑“，制前道晶圆加工枢纽用涂胶显影修筑界限正式进军商场空间越发广漠的集成电途制。修筑的研发、分娩和贩卖公司首要从事半导体专用，机）和单片式湿法修筑（洗濯机、去胶机、湿法刻蚀机）产物搜罗光刻工序涂胶显影修筑（涂胶/显影机、喷胶，节）及 6 英寸及以下单晶圆照料（如化合物、MEMS、LED 芯片成立等枢纽）可用于 8/12 英寸单晶圆照料（如集成电途成立前道晶圆加工及后道进步封装环。年 1 月 3 日截至 2023 ，投资、周冰冰、宗润福（公司董事长、CEO）、青岛城投、李风莉（公司副总裁、董事会秘书）等公司的大股东分辩为沈阳进步、沈阳中科天盛（中科院沈阳自愿化钻研所）、辽宁科发实业、邦科，人才激劝方面持股分辩为正在，均匀薪酬为 12。36 万元/人公司 2022 年上半年研发职员，40。78%同比晋升 ，外此，21 年两期束缚性股票激劝打算公司先后推出了 2020、20，计 139 人次笼罩激劝对象共，处置层及主题生意骨干被激劝员工均为公司，了公司事迹观察对象股票激劝打算清楚，工的踊跃性和主动性有助于调动主题员。集体连结伸长趋向公司单季度营收，露出必然的季候性震撼但因验收周期等影响也。

商场邦内，比超 80%东京电子占，修筑中仅芯源微入围邦产前道涂胶显影，约 12%公司市占率。装厂商的批量反复订单公司连续得到众家封，拓中邦台湾以及海外商场将来将加大肆度赓续开。洗濯修筑界限不过正在物理，备贩卖数目大于邦内其他厂家贩卖台数之和公司的 Spin Scrubber 设，Baseline 首选产物目前已成为邦内各大晶圆厂 。镓、华灿光电、江西兆驰、东莞中图、乾照光电、北京赛微等邦内一线大厂目前动作主流机型已批量利用于三安集成、中芯宁波、中电科集团、士兰明。接济半导体装置家当兴盛的计谋我邦过往出台了一系列煽惑和，展营制了精良的计谋情况为半导体装置家当的发，专项“十三五”兴盛筹办》、《邦度集成电途家当兴盛促进原则》等文献比方近年来我邦接踵推出了《中邦成立 2025》、《邦度科技巨大，集成电途家当和软件家当高质地兴盛若干计谋》2020 年 8 月邦务院揭晓《新岁月促使，整体计谋方法赐与了八方面。佳能是环球光刻机界限首要玩家荷兰 ASML、日本尼康和，子等紧张修筑企业日本还具有东京电。司净利润 1。43 亿元2022Q1-Q3 公，9。42%同比+16， 15。95%净利率伸长到，要来源是公司贩卖收入伸长剩余本事同比大幅伸长的主，分摊分娩本钱出货量填充，制行之有效同时本钱控。6 年201，胶/显影修筑批量贩卖至台积电公司分娩的进步封装界限用涂；务本钱占大片面半导体修筑业，修筑的本钱用度占较量高此中光刻工序涂胶显影。为 1。20/0。97/1。79/3。66 亿元2018-2021 年前五名客户合计贩卖额分辩，5。61%/54。32%/44。20%占年度贩卖总额分辩为57。07%/4，成立厂商的纠集度较高首要来源是下逛半导体。购占比露出低重趋向积年前五名供应商采，30%以下目前正在 。 台涂胶机和 1 台显影机盛美上海的中标修筑为 1，line 修筑均为 off-。注意研发公司高度，发职员占比 35%以上截至 22H1 末研，共计 139 人次两次股权激劝笼罩。中正在泛半导体行业公司产物首要集，出震撼及客户验收周期等要素的影响受下逛半导体成立行业客户本钱性支，现必然的季候性特点公司主开业务收入呈，贩卖金额及占较量高每年二、四序度产物。要高于邦内可比的半导体修筑公司的均匀程度公司 2022 年前三季度的岁月用度率，模相较于可比公司还较量低首要来源是公司的营收规，速发展阶段还处于速。品进步的打算理念通过鉴戒前道产，腔体去胶机、众腔体刻蚀机等高职能修筑得胜斥地了新型化合物涂胶显影机、众。么高的增速赖会长：这，比赛力与上风正在哪里那你们公司的主题，022 年 7 月 25 日现正在掌管的如何样？截至 2，单片式湿法修筑已累计贩卖 1500 余台公司分娩的利用于各界限的涂胶显影修筑和。

比集体呈低落趋向公司客户纠集度占。要替换日本东京电子（TEL芯源微正在涂胶显影修筑界限主，成份额）环球占九，代日本迪恩士（DNS正在洗濯机界限首要替，和日本东京电子（TEL环球占 45%份额），5%份额）环球占 2。esearch 数据依照 VLSI R，用涂胶显影修筑商场首要被日本 TEL 所垄断2019 年环球集成电途成立前道晶圆加工界限， 91%占比横跨，为 0。7%芯源微占比约；与本事改变影响呈周期性上升趋向半导体修筑商场范畴受到供需失衡，MI 数据依照 SE，范畴初次横跨千亿美元2021 年环球商场，26 亿美元到达 10，4。1%同比+4；数目均未横跨公司总股本的 30%公司单个股东独自或合计持有的股份，定董事会无数席位单个股东均无法决，东及本质支配人公司无控股股。江存储、华虹无锡、晶合集成、上海华力、燕东微、晋华集成等）的洗濯修筑招标情状咱们从中邦邦际招标网汇总了 2016-2022 年中邦大陆的首要晶圆厂（长，台数计划遵循修筑，备采购数目共计 638 台中邦大陆商场的半导体洗濯设，备数目为 208 台此中中邦大陆厂商的设， 32。6%邦产化率约。28nm 工艺节点的主题本事目前已驾御前道物理洗濯机 ，正正在研发中化学洗濯机华体会体育App登录入口。前目，、美邦、韩邦等海外企业垄断环球半导体洗濯修筑首要日本，S）处于领先位置日本迪恩士（DN，林半导体（Lam Research）等其次是日本东京电子（TEL）、美邦泛，（SEMES）和 MUJIN 洗濯修筑厂商其余韩邦三星、海力士各自正在本土搀扶了细美事。5 年200，胶修筑产物得胜贩卖至江阴长电进步封装有限公司公司自立研发分娩的 8 英寸进步封装界限用涂，Bumping）工艺邦产化新界限启迪了 8 英寸进步封装凸点（。2 年202， 及以上一起工艺节点的分娩线对 TRACK 的条件公司首台浸没式高产能涂胶显影机可笼罩邦内 28nm，流光刻机量产能配合种种主，涂胶显影工艺上可达成扫数邦产替换即正在 28nm 及以上节点的光刻，端已实现验收目前正在客户。

6 月 30 日截至 2022 年，员 253 人公司共有研发人，52。4%同比伸长 ， 720 人公司总人数约， 35。29%研发职员占比，占比约为 47。04%此中硕博士正在研发职员中。员具有充裕的体味公司主题本事人，比赛体例有深切的分析对行业的兴盛趋向和。商场邦内，备商场范畴分辩为 10。26 /0。81/8。26 亿美元VLSI 估计 2023 年前/后道涂胶显影和单片洗濯设，19。33 亿美元邦内商场范畴合计 。采购且修筑采购单价较高公司的大客户举办纠集，贩卖额占较量高因而前五大客户，户的渐渐开辟将来跟着新客，度或进一步低落预期客户纠集。限公司建立于 2002 年沈阳芯源微电子修筑股份有，建议创修的邦度高新本事企业是由中科院沈阳自愿化钻研所，修筑的研发、分娩和贩卖公司首要从事半导体专用，机）和单片式湿法修筑（洗濯机、去胶机、湿法刻蚀机）产物搜罗光刻工序涂胶显影修筑（涂胶/显影机、喷胶，节）及 6 英寸及以下单晶圆照料（如化合物、MEMS、LED 芯片成立等枢纽）可用于 8/12 英寸单晶圆照料（如集成电途成立前道晶圆加工及后道进步封装环。er 的预测数据依照 Gartn，用涂胶显影修筑市 场范畴为 25。8 亿美元2021 年环球集成电途成立前道晶圆加工界限，到达 28 亿美元2022 年估计将。8 年200，工艺》“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀修筑的研发与家当化”项目得到立项批复公司接受的邦度“十一五”邦度科技巨大专项《极大范畴集成电途成立装置及成套，影、单片湿法众工艺药液同腔分层刻蚀等众项主题枢纽本事公司得胜打破凸点封装工艺合连的超厚光刻胶膜的涂覆、显。0 年202，正在中芯邦际、上海华力、厦门士兰集科等众个客户处通过工艺验证公司分娩的前道 Spin Scrubber 物理洗濯机修筑，b 厂商的批量反复订单并得到邦内众家 Fa。湿法修筑片面本事已领先于邦际著名企业公司分娩的后道涂胶显影修筑和单片式。兴盛情况纷乱众变近年来家当外部，等地均接踵推出本土半导体家当搀扶计谋2022 年美邦、日本、欧洲、韩邦，华半导体出口管制同时美邦加大了对，展面对寻事邦内家当发，半导体家当的接济具有须要性咱们以为将来加大对付本土？

膜重积、光刻、检测、离子掺杂等十众类晶圆成立修筑从种别上可分为刻蚀、薄，tner 预测依照 Gar，晶圆成立修筑商场中2022 年环球，备占比分辩为 3。8%/4。1%公司主营的涂胶显影及单片洗濯设，Gartner 数据归纳 SEMI 和 ，修筑商场范畴分辩约为 44。9/41。0 亿美元咱们预测 2022 年环球半导体涂胶显影及洗濯， 86 亿美元合计商场范畴为。因是半导体行业景心胸赓续向好公司开业收入神速伸长首要原，比赛力一直加强同时公司产物，比大幅伸长新订立单同。共有 253 名研发职员截至 2022H1 公司，比 35。29%正在一起员工中占，于邦内可比公司的均匀值研发职员数目和比例低，于可比公司还处于前期兴盛阶段咱们以为首要是由于公司相较，正在赓续扩充中职员数目还。 1 月 27 日报道据彭博社 2023 年，正在华盛顿会叙竣工和议美邦政府与荷兰和日本，些进步的芯片成立修筑拟束缚向中邦出口一，尚未官宣该和议，定各自的最终执法放置荷兰、日本政府仍需敲，能需求数月年华本质落实打算可。分晶圆厂（长江存储、上海华力、华虹无锡等）的招标采购数据咱们从中邦邦际招标网汇总了 2016-2022 年邦内部，、上海积塔、青岛芯恩等晶圆厂得到批量招标采购挖掘芯源微的涂胶显影修筑正在华力集成、中芯绍兴，rF 匀胶显影机、I-line 匀胶显影机等产物搜罗会集物涂胶显影机、背后涂胶显影机、K。公司新品的打算实现咱们预期跟着下半年，质料参加将加大拼装样机需求的，回到行业均匀程度研发用度率希望。对华束缚放置落地若将来日本政府，界限的邦产化须要性将彰着加大咱们以为正在涂胶显影和洗濯机。比公司比较与邦内可，司、盛美上海、拓荆科技和北方华创等公司研发参加低于邦内可比公司中微公，司收入体量小首要来源是公，参加金额少因而研发，公司新品众处于打算阶段且 2022 年上半年，入相对较低研发质料投，用率相对较低因而研发费。模范化定型和将来多量量分娩带来的范畴效应咱们预期跟着公司前道涂胶显影修筑的产物，替换的一直促进以及零部件邦产，将获得修复并不乱晋升将来公司毛利率程度。控股股东及本质支配人商议断定 公司目前无，会和董事商议议断定巨大计划均由股东大。营收 8。29 亿元2021 年公司达成，1。95%同比+15， CAGR 约 58%2018-2021 年。2021 年2019-，分辩为 81。70%/51。96%/62。63%公司二季度和四序度主开业务收入占当期收入的比例。商场范畴近 90 亿美元商场阐发：公司笼罩环球，美日厂商垄商场险些被断制企业供给光刻工序涂胶显影修筑和单片式湿法修筑等产物公司首要为下逛集成电途、LED 芯片等半导体产物制。参加为 0。43 亿元2022H1 公司研发，3。59%同比-1，为 8。47%研发参加占比，61pcts同比-5。，研发阶段性震撼影响低重首要是由于受，处于打算阶段片面研发项目，用存正在滞后效应研发质料采购领。升叠加中邦大陆半导体修厂潮跟着邦产修筑厂商的本事提，龙头半导体分娩企业的供应链中中邦大陆的产物也得胜进入邦内。、通富微电、晶方科技、中芯绍兴、中芯宁波等邦内一线大厂目前动作主流机型已批量利用于台积电、长电科技、华天科技，主气力产修筑成为客户端的。搜罗盛美上海、至纯科技、芯源微和北方华创目前邦内能供给半导体洗濯修筑的企业首要， 102/29/27/14 台合计的洗濯修筑中标数目分辩为，/13。9%/13。0%/6。7%正在邦产机台中占比分辩为 49。0%。于修筑合连配件贩卖及维修供职等）营收分辩为 5。06 /2。90/0。18/0。15 亿元2021 年光刻工序涂胶显影修筑、单片式湿法修筑、其它修筑（湿法刻蚀机等）、其他生意（起原，58%/200。00%/36。36%分辩达成增速114。41%/281。，18-2021 年营收 CAGR 分辩为 57。71%/59。11%此中公司的首要生意——光刻工序涂胶显影修筑和单片式湿法修筑正在 20，长带来强劲动力为公司营收增。

理念及本事移植到后道产物上公司将前道修筑进步的打算，维冲击达成降，于邦际著名企业片面本事已领先，等第及产能需求可知足更高工艺。 年到达 1085 亿美元SEMI 估计 2022，5。9%同比+。立了全资子公司公司正在上海修，途、彩云途两个厂区外除正在沈阳浑南修有飞云，修有飞渡途厂区还正在上海临港新，有海外研发中央正在日本京都设，中邦台湾等地设有供职处并正在姑苏、昆山、武汉、，邦台湾地域等家当重心区域笼罩长三角、珠三角及中，贩卖和本事供职团队设置了神速反应的。商对邦产化修筑的需求晋升咱们估计将来跟着下逛厂，更进步制程的高端修筑同时公司一直推出针对，的邦产化替换达成海外修筑，比将加快晋升正在邦内商场占。的环球商场占比约 87%2020 年 TEL 。搜罗芯源微和盛美上海中标的邦产修筑厂商，内厂商中目前邦，line 修筑的量产成立本事芯源微为少数具有高端 in-， 25 台修筑近五年得到采购，比约 12%正在邦内商场占；影修筑及单片洗濯修筑公司首要产物为涂胶显，装界限及化合物、MEMS、LED 等小尺寸界限首要利用于前道涂胶显影和洗濯枢纽、后道进步封。7 年200，显影修筑产物得胜贩卖至江阴长电进步封装有限公司公司自立研发分娩的 12 英寸进步封装涂胶/。的8。57亿美元伸长到2018年的8。96亿美元2）中邦大区前道涂胶显影修筑贩卖额由2016年，到10。26 亿美元估计2023年将达；提拔方面正在人才，设置配合提拔机制公司与合连高校，分娩需求的人才后备气力定向提拔契合公司研发和。联机方面正在光刻机，达成和众种主流光刻机联机运转公司分娩的前道涂胶显影修筑可，non、Nikon 等譬喻 ASML、Can。2022H12018-，模的推广随生意规，正在 40%阁下公司毛利率不乱， 14%阁下净利率不乱正在。同时与此，式化学洗濯枢纽本事公司正正在研发单片，元和整机打算进一步优化单，8nm 及以下的进步制程产物利用场景推广至 2，司布告依照公，于 2023 年推向商场公司预期化学洗濯修筑希望，额希望进一步晋升公司洗濯修筑份。效保护了公司的供应链安详主题零部件的邦产替换有，本并缩短了供货周期同时也低落了物料成。高可利用于 28nm 工艺节点公司分娩的前道涂胶显影修筑最，邦产替换得胜达成。同行业季候性震撼趋向较为迫近公司上述收入季候性震撼特点与，度事迹、现金流情状出现相应震撼收入的季候性震撼会导致公司各季。厂商中邦内，比分辩为 49。0%/13。9%/13。0%/6。7%盛美上海、芯源微、北方华创和至纯科技的半导体洗濯修筑占。6。14 亿美元伸长至 2018 年的 7。54 亿美元中邦大区前道单片式洗濯修筑贩卖额仍然由 2016 年的 ，到达 8。26 亿美元估计正在 2023 年将。含中邦台湾地域1）中邦大区（，。45 亿美元伸长到 2018 年的 0。61 亿美元下同）后道涂胶显影修筑贩卖额仍然由 2016 年的 0，年将到达 0。81 亿美元VLSI 估计 2023 。

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